Produktų aprašymas
BDEAS yra amino silano pirmtakas, naudojamas silicio oksido plėvelėms nusodinti ALD procesuose. Panašiai kaip ir kiti amino silanai, BDEAS taip pat gali pasiekti efektyvų nusodinimą ALD procesuose ir gaminti silicio oksido plėveles su dideliu skilimo lauko stiprumu žemesnėje temperatūroje.
BDEAS yra labai lakus amino-silicio pirmtakas, pasižymintis vidutiniu garų slėgiu ir geru terminiu stabilumu. Jis puikiai suderinamas su reaktyviosiomis dujomis, tokiomis kaip ozonas ir plazma. Reakcijos aktyvumas yra kontroliuojamas, nusodinimo langas platus, plėvelės susidarymas vienodas ir tankus su mažu priemaišų kiekiu, o aukštos kokybės SiO₂ ir SiON plėvelės gali būti paruoštos žemoje temperatūroje. Jis jautrus vandens garams ir tinka puslaidininkinių dielektrinių sluoksnių ir pasyvavimo sluoksnių paruošimui pažangiuose gamybos procesuose. Tai yra pagrindinis silicio šaltinio pirmtakas ALD procesams aukščiausios klasės lustuose.
Gaminių specifikacija
| Produkto pavadinimas | BDEAS/bis(dietilamino)silanas |
| CAS NR | 27804-64-4 |
| PREKĖS NR | M264 |
| Išvaizda | Bespalvis skaidrus skystis |
| Grynumas | Didesnis arba lygus 99 % |
| Atskiros metalo priemaišos | Mažiau arba lygus 10 ppb |
| Virimo temperatūra | ~188 |
| Terminis stabilumas | <350°C |
| Paketas | 100mg/1g/1kg ir tt |
| Pristatymas | 5-8 dienos |
| Sandėliavimas | kambario temperatūros |
| MSDS/COA/TDS | Prijunkite mus |
Produktų taikymas
Puslaidininkių pramonė: SiO₂ ir SiON dielektrinių ir pasyvavimo sluoksnių ALD nusodinimas logikos ir atminties lustams.
Išplėstinė pakavimo pramonė: izoliacinės pasyvinės plėvelės, skirtos mikroschemų ir plokštelių pakavimui.
Ekrano skydų pramonė: TFT plonasluoksnių tranzistorių izoliacijos sluoksnio nusodinimas.
MEMS pramonė: Dielektrinės izoliacinės plėvelės mikro jutikliams ir mikro prietaisams.
Optinių plėvelių pramonė: tiksli optinė danga ir mažo nuostolio dielektrinės plėvelės.
DUK
K: Kokio tipo cheminė medžiaga yra BDEAS?
A: Jis priklauso aminosilanui, ALD silicio pirmtakui puslaidininkiui, elektroniniam specialaus pirmtakui.
K: Kaip laikyti BDEAS?
A: Užsandarinti nerūdijančio plieno cilindre, saugoti nuo oro ir drėgmės, laikyti vėsioje vietoje. Saugoti inertinėmis dujomis, vengti sąlyčio su vandeniu ir alkoholiu.
Kl .: Kokių pranašumų jis turi prieš kitus silicio pirmtakus?
A: Žema nusodinimo temperatūra, didelis plėvelės grynumas, geras suderinimas su ozono procesu ir puikus plėvelės vienodumas, kad būtų galima tiksliai ALD.
K: Ar jis reaguoja su vandeniu?
A: Veikiant drėgmei, jis greitai hidrolizuojasi, visos operacijos turi būti bevandenės ir be deguonies.
Kodėl verta rinktis Zhengzhou Megma Chemical Co., Ltd.?
Kokybė už sąžiningą kainą – aukštos kokybės cheminės medžiagos pristatomos už priimtiną kainą.
Pristatymas laiku – greitas užsakymų apdorojimas ir išsiuntimas su visa muitinės dokumentacija, pritaikyta kiekvienos šalies eksporto politikai.
Lankstus ir saugus mokėjimas – judrūs ir patikimi mokėjimo sprendimai, kuriais galite pasitikėti.
Visiškas įsipareigojimas kokybei – jei iškiltų kokių nors kokybės problemų, prisiimame visą atsakomybę.
Rinkos įžvalgos – kainų tendencijų atnaujinimai, kad būtumėte informuoti ir pirmyn pardavimų srityje.
Populiarus Žymos: cas Nr.:27804-64-4 bdeas/bis(dietilamino)silanas, Kinija CAS Nr.:27804-64-4 bdeas/bis(dietilamino)silano gamintojai, tiekėjai
